小型 ロングストーク Zステージ

	■ 小型 ロングストーク Zステージ Z250S/Z500H
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超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
［クローズドループ制御］

	■ MT-53-LM ストローク：10mm ■ MT-84-LM ストローク：25,50,100mm ■ MP-84-LM X,Y,Z,3軸可能　25,50,100mm ■ MT105-LM-S ストローク30mm ■ MT-196-LM ストローク100,200mm
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回転角度無制限回転ピエゾステージ［クローズドループ制御］

	■ DT-65-LM ステージ：Φ65mm ■ DT-105-LM ステージ：Φ100mm
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超ロングストロークピエゾステージ2軸（X,Y軸）［クローズドループ制御］

	■ KDT105-50-PM ストローク：50mm×50mm
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ファイメス社 製品カタログ

	■ ファイメス社　ナノポジショニング・プロダクツ（360KB） ■ ファイメス社製　3軸ステージデモ動画（型式 MT84/MT53を使用）
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