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■ 超ロングストロークピエゾステージ
クローズドループ制御 回転ステージ
DT-65-LM
DT-65-LM
オプション
●
真空対応可
●
クリーンルーム納品仕様可
製品仕様
パラメータ
単位
回転角
deg
ノーリミット
分解能
deg
409600counts / 360deg
位置決め精度
deg
0.015
直進性/平面度
μm
±0.5
最大送り速度
deg/s
360
最大加速度
deg/s2
>10000
最大トルク
Nm
0.25
最大負荷
N
80
静保持力
g
9.0
重量
kg
0.35
材質
アルミニウム合金黒色仕上げ
ベアリング
クロスローラーベアリングにより、バックラッシュ無し
DT-65-LM 寸法図
dt65_09.pdf(28KB)
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