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	トップページ ＞ 製品案内 ＞ 超ロングストロークステージ ＞ クローズドループ制御2軸（X,Y）ステージ ＞ KDT105-50-PM 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■ 超ロングストロークピエゾステージ クローズドループ制御2軸（X,Y）ステージ アパーチャ付　XY-ステージ KDT105-50-PM KDT105-50-PM 特徴 ● ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可） ● 線形システム ● 可動範囲設定リミットスイッチ付 ● 高真空対応オプション可 ● 非磁性対応オプション可 ● クリーンルーム使用対応オプション可 オプション ● XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります ● 真空対応可 ● Ｎｏｎ−ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可 ● クリーンルーム納品仕様可 性能仕様 パラメータ 単位   ストローク ｍｍ 50 分解能 μｍ 0.1 位置決め精度 μｍ 0.5 最大移動スピード mm/sec 5 重量 kg 1.6 アパチャー径 mm 40 最大負荷 Ｎ 15 KDT105-50-PM　寸法図
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