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翔栄システムの製品案内
翔栄システムの製品案内です。
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■ 超ロングストロークピエゾステージ

クローズドループ制御2軸(X,Y)ステージ
アパーチャ付 XY-ステージ

KDT105-50-PM

KDT105-50-PM
KDT105-50-PM

特徴
ロングストローク、しかも高分解能(5nm,更に高分解能も特注で可)
線形システム
可動範囲設定リミットスイッチ付
高真空対応オプション可
非磁性対応オプション可
クリーンルーム使用対応オプション可


オプション
XYZ-3軸ステージはMP 84-LMとなります
真空対応可
Non−maguneticオプション可
クリーンルーム納品仕様可

性能仕様
パラメータ 単位  
ストローク mm 50
分解能 μm 0.1
位置決め精度 μm 0.5
最大移動スピード mm/sec 5
重量 kg 1.6
アパチャー径 mm
40
最大負荷 15
KDT105-50-PM
KDT105-50-PM 寸法図



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