ピエゾを使った精密位置決め装置に関しては「翔栄システム」へお任せください。
	トップページ ＞ 製品案内 ＞ 超ロングストロークステージ ＞ クローズドループ制御 回転ステージ ＞ DT-105-LM 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■ 超ロングストロークピエゾステージ クローズドループ制御 回転ステージ DT-105-LM DT-105-LM オプション ● 真空対応可 ● Ｎｏｎ−ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可 ● クリーンルーム納品仕様可 性能仕様 パラメータ 単位 1モーター 2モーター 3モーター 4モーター 回転角 deg ノーリミット 分解能 deg 3,600,000counts/360deg 位置決め精度 deg 0.005 面振れ量 μｍ ＜15 最大送り速度 deg/s 240 最大加速度 deg/s2 ＞10,000 最大トルク Ｎｍ 0.4 0.8 1.2 1.6 最大負荷 Ｎ 100 静保持力 Ｎ 9.0 重量 kｇ 0.9 1.0 1.2 1.3 材質 アルミニウム合金黒色仕上げ ベアリング Precision angular-contact ball bearings, バッククラッシュ無し DT-105-LM　寸法図
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