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クローズドループ制御1軸(X,Y)ステージ
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下記の一覧より製品をお選びください。
■ 超ロングストロークピエゾステージ
クローズドループ制御 1軸ステージ
MT-53-LM
MT-53-LM
オプション
●
ケーブルの引き出し方向変更可能
●
複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可
●
真空対応可
●
Non−maguneticオプション可
●
クリーンルーム納品仕様可
超ロングピエゾステージデモ動画が観れます。こちらをクリック
性能仕様
パラメータ
単位
ストローク
mm
10
分解能
nm
5
位置決め精度
μm
3/フルストローク
直進性/平面度
μm
±0.5
最大送り速度
mm/s
5
最大加速度
m/s2
>50
最大負荷
N
5
保持力
N
7
重量
g
100
材質
アルミニウム合金黒色仕上げ
ベアリング
クロスローラーベアリングにより、バックラッシュ無し
MT53−LM 寸法図
mt53_09.pdf(40KB)
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