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翔栄システムの製品案内
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■ 超ロングストロークピエゾステージ

クローズドループ制御 1軸ステージ
MT-53-LM

MT-53-LM
MT-53-LM

オプション
ケーブルの引き出し方向変更可能
複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可
真空対応可
Non−maguneticオプション可
クリーンルーム納品仕様可


超ロングピエゾステージデモ動画が観れます。こちらをクリック


性能仕様
パラメータ 単位  
ストローク mm 10
分解能 nm 5
位置決め精度 μm 3/フルストローク
直進性/平面度 μm ±0.5
最大送り速度 mm/s 5
最大加速度 m/s2 >50
最大負荷
5
保持力 7
重量 100
材質 アルミニウム合金黒色仕上げ
ベアリング クロスローラーベアリングにより、バックラッシュ無し
超ロングストロークステージ
MT53−LM 寸法図
詳しい図面を見る
mt53_09.pdf(40KB)



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