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翔栄システムの製品案内
翔栄システムの製品案内です。
下記の一覧より製品をお選びください。

■ 超ロングストロークピエゾステージ

クローズドループ制御 1軸ステージ
MT-196-LM

MT-196-LM
MT-196-LM

 
オプション
高分解能リニアエンコーダーを使用する事により、分解能0.005μmも可
真空対応可
クリーンルーム納品仕様可

MT-196-LM
パラメータ 単位 MT-196-100-2LM MT-196-200-2LM
ストローク mm 100 200
分解能 μm 0.1 0.1
位置決め精度 μm 2 /フルストローク 2 /フルストローク
直進性/平面度 μm/10mm 0.4 1.0
最大送り速度 mm/s 250 250
最大加速度 m/s2 2 2
最大負荷Fx
Fy
Fz
N
N
N
30
100
200
30
100
200
重量 kg 4.1 4.7
材質 アルミニウム合金黒色仕上げ
ベアリング クロスローラーベアリングにより、バックラッシュ無し
超ロングストロークステージ
MT-196-LM 寸法図
詳しい図面を見る
mt196_09.pdf(44KB)



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