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	トップページ ＞ 製品案内 ＞ 超ロングストロークステージ ＞ クローズドループ制御1軸（X,Y）ステージ ＞ MT-196-LM 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■ 超ロングストロークピエゾステージ クローズドループ制御 1軸ステージ MT-196-LM MT-196-LM   オプション ● 高分解能リニアエンコーダーを使用する事により、分解能0.005μｍも可 ● 真空対応可 ● クリーンルーム納品仕様可 MT-196-LM パラメータ 単位 MT-196-100-2LM MT-196-200-2LM ストローク ｍｍ 100 200 分解能 μｍ 0.1 0.1 位置決め精度 μｍ 2 /フルストローク 2 /フルストローク 直進性/平面度 μm/10mm 0.4 1.0 最大送り速度 ｍｍ/ｓ 250 250 最大加速度 ｍ/ｓ2 2 2 最大負荷Fx Fy Fz N N N 30 100 200 30 100 200 重量 kｇ 4.1 4.7 材質 アルミニウム合金黒色仕上げ ベアリング クロスローラーベアリングにより、バックラッシュ無し MT-196-LM　寸法図 mt196_09.pdf（44KB）
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