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	トップページ ＞ センサの選び方 ＞ 静電容量変位センサ センサをお選びになる場合に、右の表をご参考にして頂くと便利です。 ● 渦電流変位センサ ● 静電容量変位センサ ■静電容量変位センサの選び方・本体の形状 プローブの 寸法 ターゲットの 最小寸法 [φmm] Ultlafine Fine 測定レンジ [μm] Offset [μm ] 分解能 線形性 %F.S. 測定レンジ [μm] Offset [μm ] 分解能 線形性 %F.S. センサ本体の 形状 BW [Hz] nm BW [Hz] nm F1 0.8 － － － － － 10 20 100 1.1 0.25 C3,C5,C6 － － 6k 1.5 E1 1.0 － － － － － 25 75 100 3.0 0.15 C3,C5,C6 － － 6k 4.0 D 2.5 10 20 100 0.2 0.15 50 75 100 1.0 0.15 C3,C5,C6 15k 0.4 15k 2.0 C 2.3 10 20 100 0.2 0.20 50 75 100 1.2 0.15 C23,C24 15k 0.4 15k 2.4 B 4.1 － － － － － 50 125 100 1.0 0.20 C23,C24 － － 15k 2.0 A 7.6 － － － － － 50 225 100 0.8 0.20 C1,C2 － － 15k 1.5 H 25 － － － － － － － － － － R2 － － － － プローブの 寸法 ターゲットの 最小寸法 [φmm] Standard Extended 測定レンジ [μm] Offset [μm ] 分解能 線形性 %F.S. 測定レンジ [μm] Offset [μm ] 分解能 線形性 %F.S. センサ本体の 形状 BW [Hz] nm BW [Hz] nm F1（※） 0.8 50 50 100 3.8 0.30 80 60 100 6.8 0.85 C3,C5,C6 6k 5.0 6k 9.0 E1（※） 1.0 100 100 100 7.5 0.15 － － － － － C3,C5,C6 6k 10 － － D 2.5 250 125 100 4.5 0.10 500 125 100 9.0 0.15 C3,C5,C6 15k 9 15k 18.0 C 2.3 250 125 100 5.0 0.10 500 125 100 9.0 0.20 C23,C24 15k 10 15k 18.0 B 4.1 500 250 100 5.0 0.15 1250 250 100 20.0 0.20 C23,C24 15k 10 15k 40.0 A 7.6 500 500 100 6.0 0.20 2000 250 100 20.0 0.45 C1,C2 15k 12 15k 40.0 H 25 2500 5000 100 100 0.20 6000 3000 100 180 0.25 R2 15k 50 15k 90 （※）最大応答周波数10kHzとなります。 センサ本体の形状 センシングエリア
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