代表的なプローブの測定レンジと分解能 |
プローブのタイプ |
測定レンジ
[mm] |
分解能(RMS)(for
ECL 100/ 130)
[um] |
材質 |
1kHz |
10kHz |
80kHz |
U3 |
0.50 |
非鉄金属 |
0.02 |
0.04 |
0.30 |
鉄金属 |
0.04 |
0.08 |
0.60 |
U5 |
1.25 |
非鉄金属 |
0.05 |
0.10 |
0.75 |
鉄金属 |
0.10 |
0.20 |
1.5 |
U8 |
2.00 |
全て |
0.08 |
0.16 |
1.2 |
U12 |
3.50 |
全て |
0.14 |
0.28 |
2.1 |
U18 |
5.00 |
全て |
0.20 |
0.40 |
3.0 |
U25 |
8.00 |
全て |
0.32 |
0.64 |
4.8 |
U38 |
12.5 |
全て |
0.5 |
1.0 |
7.5 |
U50 |
15.0 |
全て |
0.60 |
1.2 |
9.0 |