ピエゾを使った精密位置決め装置に関しては「翔栄システム」へお任せください。
翔栄システム

トップページ ＞ 製品案内 ＞ 静電容量センサ ＞ CPL190/CPL290/コンパクトドライバ 応用事例
翔栄システムの製品案内
翔栄システムの製品案内です。
下記の一覧より製品をお選びください。

■ 静電容量センサ（Eliteシリーズ）応用事例

CPL190・CPL290・コンパクトドライバ
応用事例

応用事例：
●ウェハーの厚み測定
●回転体の軸ブレ測定
●製紙上の接着剤の検知
●非導体の厚み測定
●徴動ステージの位置検知		 レンジ・分解能を選ぶ

静電容量センサ　応用事例

ウェハー厚み測定
ウェハー厚み測定

 回転体の軸ブレ測定
回転体の軸ブレ測定		 製紙上の接着剤の検知
製紙上の接着剤の検知
非導体の厚み測定
非導体の厚み測定		 微動ステージの位置検知
微動ステージの位置検知

真空対応をご希望の方は、こちら(真空対応表のPDF［56KB］)をダウンロード後、
ご記入いただければ、スムーズにご相談が進みます。

高性能静電容量センサーシステム お問い合わせフォームはこちらから
お問い合わせフォームはこちらから

Copyright © 2004 Syouei System Co.,Ltd.