アプリケーションの内容からどんなタイプのサーボシステムが最良か決定します。 サーボシステムの種類、最も大切な性能は、スピードか、安定性か、或いは外乱に対する安定性か、サーボ系全体のPIDパラメータを調整して最良なサーボユニットを設計します。
以上の3つの要素がよくても、ピエゾアクチュエータ或いはステージが取りつけられる周辺機構の設計が悪いと、当初の目標性能を達成することができません。