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	トップページ ＞ 製品案内 ＞ 静電容量センサ ＞プローブ型静電容量センサ 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■プローブ型静電容量センサ 各種センサ・アンプ / 筒型プローブ / 矩形型プローブ / 特注センサ各種 センサ・アンプ各種 矩形型プローブ 筒型プローブ 特注センサ各種 Magnetic bearingに組み込んだプローブ Air bearingに組み込んだプローブ 主要な静電容量センサの応用例： ● Spindle 解析 ● 精密寸法計測 ● 移動、動作、変位の検出 ● Nanometer positioning ● 動的変位の計測 ● 振動計測 性能仕様： ● 測定レンジ　10μｍ～6ｍｍ ● 分解能　最高0.4nm　RMS ● 応答周波数　15kHz
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