測定する際、センサと測定対象物は垂直に位置することが前提となります。
センサと測定対象物の位置が傾くごとに、感度に誤差が生じます。
この誤差に関しては、以下の計算式で算出できます。
例:センサ径が3mmで、センサ~測定対象物の距離が0.75mm、傾きが0.03radの場合
センサ径r(m):0.003m
センサ~測定対象物の距離d(m):0.00075m
センサ先端面に対する測定対象物の傾きθ(rad):0.03rad(=約1.72°)
k(定数):5
約1.72°傾いたとき、13um程度の誤差を生じます。測定する際は、極力センサと測定対象物が垂直になるように設置してください。
センサの測定についてお気軽にご相談ください。
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